半導体製造装置用マニホールド
材質 | PTFE(テフロン) |
---|---|
形状 | 継手 |
加工方法 | 旋盤加工,フライス加工 |
業界 | 半導体製造装置 |
こちらは半導体製造装置用のマニホールド部品です。耐薬品性が求められていたため、テフロンを採用しています。
当製品は流体継ぎ手の為、液漏れ、液だまりを発生しないよう内部の円形の空洞に高い面粗度が要求されていました。当社にて特殊な工具を用いて、継手内部のお客様のご要望であった面粗度を確保しています。
当社では、このような樹脂部品の他、金属部品の加工にも対応しております。加えて、豊富な実績を活かした、材料や加工方法のご提案も可能ですので、お気軽にご連絡ください。